Luận văn Thiết lập hệ tự động hóa qui trình tạo màng trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ Magnetron

(Bản scan)

Thiết lập hệ tự động hóa qui trình tạo màng trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ Magnetron

Mục lục

Phần 1: Tổng quan

Chương 1: Phương pháp phún xạ magnetron tạo màng mỏng

Chương 2: Quá trình hình thành màng và cấu trúc tổ chức màng

Phần 2: Thiết bị, qui trình và chương trình hóa

Chương 3: Thiết bị và qui trình phún xạ

Chương 4: Tiến trình thực hiện chương trình

Chương 5: Đánh giá kết quả

Chương 6: Phụ lục