Đề tài Nghiên cứu chế tạo và khảo sát các đặc trưng của cảm biến vi cơ đo lực

Để xác định đáp tuyến của cảm biến theo lực tác dụng, một bộ gia trọng chuẩn tới gam (tương ứng

với lực chính xác tới 10-2N) được sử dụng. Bằng cách thay đổi khối lượng gia trọng đặt lên tâm cứng, ta đã thay đổi độ lớn của lực tác dụng. Màng của cảm biến sẽ uốn cong khác nhau ứng với lực tác dụng khác nhau, nên điện áp ra thu được cũng khác nhau và phụ thuộc vào lực tác dụng. Trên hình 3 và 4 biểu diễn một số kết quả của các phép đo này. Dáng điệu của các

đường đặc trưng cho thấy, trong phạm vi nhỏ của lực tác dụng, điện áp ra là tỉ lệ thuận với lực tác dụng. Đây là vùng làm việc tuyến tính của cảm biến. Với các lực lớn hơn, tốc độ thay đổi điện áp ra là thấp dần, độ dốc của đường đặc trưng giảm dần. Kết quả này đúng cho tất cả các cảm biến đã chế tạo