Luận văn Ảnh hưởng của nồng độ khí hydro lên cấu trúc màng Si:H chế tạo bằng phương pháp PECVD
(Bản scan) Ảnh hưởng của nồng độ khí hydro lên cấu trúc màng Si:H chế tạo bằng phương pháp PECVD Mục lục Chương 1: Tổng quan Chương 2: Tiến trình thực nghiệm Chương 3: Kết quả và thảo luận
Các file đính kèm theo tài liệu này:
- 4_2.PDF
- 0_3.PDF
- 1_2.PDF
- 2.PDF
- 3.PDF
- 5.PDF
- 6_2.PDF
- 7.PDF
- 8.PDF
- 9.PDF