Luận văn Chế tạo màng dẫn điện trong suốt ZnO:Al bằng phương pháp phún xạ magnetron DC có điện tích đế lớn (1m x 1,5m)

(Bản scan)

Chế tạo màng dẫn điện trong suốt ZnO:Al bằng phương pháp phún xạ magnetron DC có điện tích đế lớn (1m x 1,5m)

Mục lục

Phần 1: Tổng quan

Chương 1: màng dẫn điện trong suốt và ứng dụng

Chương 2: Hệ magnetron và sự tương tác bề mặt. Màng phản xạ nhiệt - trong suốt có sở bản dẫn pha tạp

Chương 3: Nghiên cứu cấu trúc, tính chất và công nghệ chế tạo màng mỏng ZnO: Al

Phần 2: Thực nghiệm