Luận văn Mồ phỏng các bộ lọc quang cáu tạo bới các tám điện mồi ủng dụng trong quang phố học

(Bản scan)

DANH MỤC HĨNH VÈ DANH MỤC HĨNH VÈ . . iii

DANH MỤC BẢNG BIẺƯ V

DANH MỤC CÁC Kí HIỆU VÃ CHỮ VIẾT TẢT vi

MỚ ĐÀU 1

CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN. 4

1. l.Tóng quan lý thuyét W chiét suẳt .4

1.2.Cấu ưủc mảng mòng 7

1.2.1ciu trúc đon lớp. 7

1.2.2ciu trúc đa lốp — 10

1.3.Phương pháp ma trân truyên (TMM) 13

1.4 Bộ lọc DBR. . . . 18

1.5.Bộ lọc Fabry-PỂrot 19

1.6.Bộ lọc DBR dái rộng. . . . 20

1.7.Vật liệu. 21

CHƯƠNG 2: CÔNG NGHỆ VÃ PHÀN MỀM 23

2.1Công nghỉ plauna ling dung hơi hóa hợc(PECVD) 23

2.2.Phún mèm mỏ phóng OpenFilters .—.24

2.3.Phương pliáp Needle 27

2.4.Phương pliáp kháo sát phò phan xa. truyền qua 28

CHƯONG 3: KẾT QUÁ VÀ THAO LUẬN 31

3.1Tỏi ưu hòn bõ lọc DBR 31

3.2Tồi ƯU hóa bộ lọc Fabry- Pérot 33

3.3ửng dụng của bộ Iqc DBR vã FT trong kinh hiền vi huỳnh quang 36

3.4Sơ sánh giừ-.i kct quá mỡ phóng thực nghiệm và lý thuyết 38

3.5Biến dối theo sổ chu kỳ _ _ _ 40

3.6Mớ rộng dộ rộng vùng cắm 41

CHƯƠNG 4: KÉT LUẬN

Luận vin đi đai đưựe mục tiêu dế ra với những ká quá chinh nhu sau:.

TÀI LIỆU THAM KHÀO 45

't Ế