Luận văn Tạo màng gương nóng truyền qua bằng phương pháp phún xạ magnetron DC có diện tích màng lớn
(Bản scan) Tạo màng gương nóng truyền qua bằng phương pháp phún xạ magnetron DC có diện tích màng lớn Mục lục Chương 1: Tổng quan Chương 2: thực nghiệm 1. Mục đích của đề tài 2. Sơ đồ thực nghiệm 3. Những thống số tối ưu 4. Chế tạo màng ZnO:Al với kích thước lớn bằng phương pháp phún xạ magnetron truyền động 5. Kết quả và bàn luận Chương 3: Kết luận
Các file đính kèm theo tài liệu này:
- 5_2.pdf
- 0_2.pdf
- 1_2.pdf
- 2_2.pdf
- 3.pdf
- 4.pdf
- 6_4.pdf
- 7.pdf
- 8.pdf
- 9.pdf