Luận văn Tổng hợp màng dẫn điện trong suốt ZnO:Al bằng phương pháp phún xạ magnetron DC từ bia gốm

(Bản scan)

Tổng hợp màng dẫn điện trong suốt ZnO:Al bằng phương pháp phún xạ magnetron DC từ bia gốm

Mục lục

Phần 1: Tổng quan

Chương 1: Màng dẫn điện trong suốt và các phương pháp chế tạo

Chương 2: Sơ lược về qui trình chế tạo gốm

Chương 3: Phương pháp xác định cấu trúc và tính chất màng

Phần 2: Thực nghiệm

Chương 1: Chế tạo bia gốm ZnO có pha Al2O3

Chương 2: Chế tạo màng ZnO:Al

Chương 3: Kết quả và bàn luận