Luận văn Tổng hợp màng TiN bằng phương pháp Sputter - Ion - Plating (SIP)

(Bản scan)

Tổng hợp màng TiN bằng phương pháp Sputter - Ion - Plating (SIP)

Mục  lục

Chương 1: Một số phương pháp tạo màng mỏng

Chương 2: Phún xạ manhetron phẳng

Chương 3: Thiết lập hệ EARE và hệ PMS

Chương 4: Tổng hợp màng TiN

pdf27 trang | Chia sẻ: maiphuongdc | Lượt xem: 1713 | Lượt tải: 0download
Bạn đang xem trước 20 trang tài liệu Luận văn Tổng hợp màng TiN bằng phương pháp Sputter - Ion - Plating (SIP), để xem tài liệu hoàn chỉnh bạn click vào nút DOWNLOAD ở trên

Các file đính kèm theo tài liệu này:

  • pdf3.PDF
  • pdf0_3.PDF
  • pdf1_2.PDF
  • pdf2.PDF
  • pdf4_2.PDF
  • pdf5.PDF
  • pdf6_2.PDF
  • pdf7.PDF
  • pdf8.PDF
Tài liệu liên quan