Luận văn Tổng hợp màng TiN bằng phương pháp Sputter - Ion - Plating (SIP)
(Bản scan) Tổng hợp màng TiN bằng phương pháp Sputter - Ion - Plating (SIP) Mục lục Chương 1: Một số phương pháp tạo màng mỏng Chương 2: Phún xạ manhetron phẳng Chương 3: Thiết lập hệ EARE và hệ PMS Chương 4: Tổng hợp màng TiN
Các file đính kèm theo tài liệu này:
- 3.PDF
- 0_3.PDF
- 1_2.PDF
- 2.PDF
- 4_2.PDF
- 5.PDF
- 6_2.PDF
- 7.PDF
- 8.PDF